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SEMI C28 - フッ化ケイ素酸の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は2006年1月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 で、そして2006年3月にCD-ROMで入手可能となりました。 初版は1978年発行、前版は2005年7月に発行されました。
本書の目的は、半導体産業で使用されるフッ化ケイ素酸に対する要求条件を標準化する、またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。示している。
本書の範囲は半導体産業で使用されるフッ化ケイ素酸の全てのグレードである。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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