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SEMI C27 - 塩酸の仕様およびガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 5 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1978 年に出版されました。以前は 2018 年 1 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用される塩酸のグレードの要件と、それらの仕様をサポートするための試験手順を標準化することです。 SEMI C1 の要件に従って検証されている限り、代替方法を使用することができます。この文書は、必要性が確認されている塩酸の段階に関するガイドも提供します。ガイドの場合、テスト方法が統計的に検証されていない可能性があります。
この文書の範囲は、半導体産業で使用される塩酸のグレードと段階です。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイド
SEMI C44 — 硫酸の仕様とガイド
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