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SEMI C25 - ジクロロメタン (塩化メチレン) の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学物質委員会によって技術的に承認されました。この版は、2005 年 11 月 29 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2006 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版発行は 1978 年です。注: この文書は 2006 年に完全に書き直されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるジクロロメタン (塩化メチレン) の要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。この文書には、必要性が確認されているジクロロメタンのグレードに関するガイドラインも記載されています。ガイドラインの場合、試験方法がまだ統計的に検証されていない可能性があります。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 試薬の仕様
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