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SEMI C23 - 緩衝酸化物エッチャントの仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、半導体産業で使用される緩衝酸化物エッチング液の要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証の SEMI C1 要件に準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。
この仕様の範囲は、半導体産業で使用される緩衝酸化物エッチング液のグレードです。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイド
改訂履歴
SEMI C23-0714 (再承認 0620) E
SEMI C23-0714 (再承認 0620)
SEMI C23-0714 (技術改訂)
SEMI C23-0708 (技術改訂)
SEMI C23-0301 (技術改訂)
SEMI C23-0699 (初公開)
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