SEMI C21 - 水酸化アンモニウムの仕様とガイドライン -

Abstract

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本基準は、Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 orgで。初版は1978年発行、前版は2001年3月に発行された。

本書の目的は、半導体産業で使用される水酸化アンモニウムに対する要求条件を標準化する、またこれらの基準を試験する手順を標準化することである。本書は、水酸化アンモニウムに対して要求が認められたグレードのガイドラインも示している。 ガイドラインの場合は、テスト方法は統計的に有効になっていない場合がある。

本書の範囲は半導体産業で使用される水酸化アンモニウムのすべてのグレードである。

SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド

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