SEMI C19 - アセトンの仕様 -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Process Chemicals
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C19-0514 (Reapproved 1119) - Inactive

リビジョン

Abstract

この文書の目的は、半導体産業で使用されるアセトンの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証の SEMI C1 要件に準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。

 

この文書の範囲は、半導体産業で使用されるすべてのグレードのアセトンです。

 

参照されるSEMI規格

SEMI C1 — ガイド 液体化学物質の分析用

SEMI C27 — 塩酸の仕様とガイド

SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイド

SEMI C44 — 硫酸の仕様とガイド


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