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SEMI C18 - 酢酸の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、半導体産業で使用される酢酸の要件と、それらの仕様をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証の SEMI C1 要件に準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。
この文書の範囲は、半導体産業で使用される酢酸の 1 グレードです。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C27 — 塩酸の仕様とガイド
SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイド
SEMI C44 — 硫酸の仕様とガイド
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