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SEMI C16 - 精度とデータレポートの実践のためのガイド -
Volume(s):
Gases
/
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学物質委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。最初は 2010 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1997 年に発行されました。以前は 2005 年 3 月に出版されました。
注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。
プロセス化学物質またはガスの SEMI 仕様をサポートするデータの精度とデータ報告の実践に関する最小限のガイドライン セットを提供すること。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 試薬の仕様
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