SEMI C15 - ppm および ppb 湿度標準の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 3 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2012 年 2 月に出版されました。

この試験方法は、ガス状水分標準によって供給される水分の量が、物理的原理に基づいて標準に対して予測される量と一致するかどうかを判定します。この試験方法は、期待される性能からの逸脱が考えられる、または疑われる場合、および必要に応じて、最初に使用される前に水分標準を検証するために使用されることが期待されます。

この試験方法は、信頼できる水分計の存在を前提としています。分析装置の有効性を保証するために広範な予防措置が記載されていますが、分析装置の予期せぬ欠陥によってテストで誤った結果が得られる可能性は常にあります。

水分の生成には多くの落とし穴があることを考慮すると、規格によって提供される予測水分濃度と分析装置によるそのレベルの測定値が一致することが必要になります。一致のレベルは、水分標準に対して要求される精度の程度によって異なりますが、いずれの場合でも、測定結果と予測結果は水分標準の全範囲にわたって 10% 以内である必要があります。そうでない場合は、予測の基礎となる物理的測定値および疑わしいと思われるその他のパラメーターを検証した後、検証を繰り返す必要があります。

この試験方法は、供給される水分濃度が物理学の基本原理に基づいて予測可能であれば、ppm 範囲以下の量の水分を供給するあらゆる種類の気体標準に適用できることを目的としています。したがって、分析による特性評価のみに依存する標準は特に除外されます。

この試験方法の一部として、水分規格の認定に使用するのに適していると考えられる特定の水分計を認定するための手順が説明されています。他の用途を目的とした水分計は、異なる基準を満たす必要がある場合があります。

現在入手可能な最も正確で信頼性の高い水分計は主に ppm 範囲で動作するため、この試験方法はこの範囲での水分標準の検証に焦点を当てています。 ppb 水分標準の必要性は、ppm 水分標準の出力を ppb 範囲に下げるための手順を規定することによって対処されます。

なし。

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