SEMI C15 - PPMおよびPPB水分標準のための試験方法 -

Abstract

本基準は、global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995 年発行。前版は 2002年 11月発行。

本テストは，物理的原理に基づいた本標準に対して予測値と一致することは別として，標準ガス状態水分で供給される水分量を定量する。疑うとき、そして必要と思われるときは、これらを使用状態に最初に設置する前に、本方法が標準水分を守るのに使用されることを期待する。

テスト方法は、信頼できる水分分析方法の存在を想定している。結果を我慢することがある。

この水分の発生は、多くの間違いに陥りがちであるため、基準によって供給された予測水分濃度と分析によって測定されたレベルが、一致することを要求する。て要求される正確さの度合いに依存して変わる。 ，どんな他のパラメータでも疑問と思われたものは，物理的測定で確証した後に，正常性検査を保存すべきである。

説明された水分濃度が，物理の基本的原理に基づいて予測できるなら，この方法は，ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても，適用できるこのようにして、分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんな標準も、明確に評価される。

このテストの一部として，標準水分の検定に使用するのに正しいであると考えられる，ある水分分析器を検定するための手順を考える。他の応用に計画された水分分析器は，定められた基準を満足するために必要となる場合があります。

現在使用できる最も正確で、信頼できる水分分析器を、ppmレンジで主に操作するとき、このテストは、このレンジにおける標準水分の慎重性検査に関心を集めている。 ppbレンジに減らすための手順を詳細に考えることにより、このppb標準水分の必要性が取り扱われます。

なし。

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