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SEMI C10 - MDL（定量下限値）決定に関するガイド -
Volume(s):
Gases
/
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2014年11月にwww.semiviews. orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行、前版は2009年11月に発行された。
注意: 本書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
SEMIプロセスケミカルまたはガス仕様のデータに基づいて、定量下限値(MDL:メソッド検出限界)の決定方法について必要なガイドラインを提案する。
このガイドは，SEMIプロセスケミカルまたはガススタンダードおよびガイドに指定された微量不純物に適用される。このガイドはSEMI仕様に対する性能の検証およびSEMIにおける新規仕様の制定の両面への適用を意図している。
参照されるSEMI規格SEMI C16 — 正確なレポート作成/データトレーサビリティのためのガイド
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