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SEMI C10 - メソッドの検出限界の決定に関するガイド -
Volume(s):
Gases
/
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 8 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2009 年 11 月に出版されました。
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
SEMI プロセスケミカルまたはガス仕様をサポートするデータからメソッド検出限界 (MDL) を定量的に決定するための最小限のガイドライン セットを提供します。
このガイドは、SEMI プロセスケミカルまたはガスの規格およびガイドで指定されている微量汚染物質に適用されます。関連する微量汚染物質はすべて、検量線の回帰分析から決定された MDL が仕様値以下である必要があります。このガイドは、SEMI 内での新しい仕様の確立と SEMI 仕様に対するパフォーマンスの検証の両方での使用を目的としています。
参照されるSEMI規格
SEMI C16 — 正確なレポート作成/データトレーサビリティのためのガイド
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