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SEMI C9.1 - 重量分析により調製されたガス混合物における不確実性の分析のためのガイド -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1993 年に出版されました。以前は 2012 年 2 月に出版されました。
この文書は、さまざまな SEMI 不純物仕様が満たされているかどうかを判断するために、分析機器の校正に使用される重量混合ガスの調製および使用に関連する不確実性の分析に関する最小限の基準を提供することを目的としています。
このガイドは、個別のシリンダーを使用して二成分ガス混合物を調製することを目的としています。
この文書の目的は、ISO 6142 に準拠した校正ガス混合物の調製に関する一般的なガイドラインと、半導体業界のニーズを満たすための追加要件を提供することです。
このガイドは、気体成分間またはシリンダー壁と反応しない気体成分、および試験条件下で完全に蒸発する凝縮性成分にのみ適用されます。水分校正混合物を対象としたものではありません。
参照されるSEMI規格なし。
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