SEMI C6.7 - 高圧ガスシリンダー中のグレード10/0.2窒素に対する粒子クル仕様 -

Abstract

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SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993 年発行。前版は 2002年 11月発行。

注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。

この文書の目的は、(1) 10/0.2 グレード、窒素充填に対する最大許容粒子クル濃度の設定、および(2)その確認のための基準方法の記述である。

この仕様は、高圧ガスシリンダーに充填された窒素に適用される。

窒素シリンダーは、3つの部品から構成される：(1)シリンダー・ボトル、(2)充填された圧縮窒素、および(3)シリンダー・バルブ。それぞれの部品がパーティクルソースとなり得ます。この仕様は、規定条件下で決められてから得られるガス中に検出されるパーティクルの総数に適用される。

減圧器は，制御されない場合，多数の人工的パーティクルを疑集，疑念のために生じ得ることが知られている。粒子クルカウンターを採用し、圧力低下とそれに関連する問題に対して必要を排除している。

シリンダ・ガス中のパーティクル含有量は，時間とともに変化することが知られている。典型的なガスシリンダーの取り扱いを表わす最悪の条件下で、粒子クル濃度を測定することが重要である。 この仕様は、上記の要求条件を満たす標準衝撃を記述し、また衝撃直後に粒子クルをカウントする手順を提供する。

このテスト方法を複数のシリンダーに対して使用する場合は、各シリンダーをテストしなくても構いません。同時にアップロードした複数のセキュリティは，それぞれ異なるユーザーから異なる期間の使用の後に放棄されるのが通常である。 専用の処理が必要である。従って、10%または20%のバッチ・サンプリングでは、セキュリティごとの重大な慎重があるため受け入れられない。

100%サンプリングの要求条件は，サンプリング目的で使用される各シリンダ中のガスの総量を制限する。この制限は，低濃度レベルにおけるパーティクルサンプリングに対する統計的要求を緩和する。

なし。

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