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SEMI C6.6 - パイプラインガスとして供給されるグレード 10/0.1 窒素 (N2) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1990 年に出版されました。以前は 2002 年 11 月に出版されました。
注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。
この文書の目的は、(1) 10/0.1 グレードの窒素およびアルゴンのバルク供給ガスの最大許容粒子濃度を設定すること、および (2) その検証のための参照方法を説明することです。
この文書は、パイプラインを通じて配送される窒素ガスとアルゴンガスにのみ適用されます。シリンダーガスや液体状態のガスには適用できません。
参照されるSEMI規格なし。
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