SEMI C6.5 - パイプラインガスとして授受されるグレード10/0.2窒素（N2）およびアルゴン（Ar）に対するパーティクル仕様 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2002年11月発行。

注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。

このドキュメントの目的は、(1) 10/0.2グレードの窒素およびアルゴンバルク供給ガスの最大許容粒子クル濃度を設定すること(2)その確認のための基準方法をそのものである。

このドキュメントはパイプラインを通して授受される窒素およびアルゴンガスにのみ適用される。

なし。

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