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SEMI C6.3 - パイプラインガスとして供給されるグレード 20/0.2 水素 (H2) の粒子仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1989 年に出版されました。以前は 2003 年 3 月に出版されました。
注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。
この文書の目的は、(1) グレード 20/0.2 水素ガスの最大許容粒子濃度を設定すること、および (2) その検証のための参照方法を説明することです。
この文書は、パイプラインを通じて配送される水素ガスにのみ適用されます。シリンダーガスや液体状態のガスには適用できません。
参照されるSEMI規格なし。
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