SEMI C6.2 - パイプラインガスとして授受されるグレード20/0.02酸素に対するパーティクル仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993 年発行。前版は 2002年 11月発行。

注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。

この文書の目的は： (1) 20/0.02 グレード酸素バルク供給ガスに対するパーティクルの最大許容濃度を設定し、(2)その確認のための参照方法の記述である。

この文書はパイプラインを通して授受される酸素ガスにのみ適用される。

なし。

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