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SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8）、電子グレード、メモリー充填、品質99.999%の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年3月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される八フッ化シクロブタン(C 4 F 8 )の仕様を提供するものである。
本書は、半導体産業で使用される八フッ化シクロブタン(C 4 F 8 )の要求事項を含みます。
参照されるSEMI規格なし。
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