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SEMI C3.56 - ジボラン混合物の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2012 年 3 月に出版されました。
ジボラン混合物の仕様と分析方法を定義し、仕様を検証します。
ジボランは純粋なガスとしてではなく、N 2 、H 2 、Ar、He、または SiH 4のバランスガスとの混合物として使用されます。
混合物の品質は、次のような多くの要因の影響を受けます。
・混合物の調製に使用されるガスの純度。
• 部品の充填精度。
• シリンダーの準備プロセスとジボランとシリンダーの内面とのその場反応。
さらに、ジボランは化学的に不安定であり、したがって分解するため、充填後の経過時間が重要です (付録 1 を参照)。
すべての成分ガスは、該当する SEMI 仕様 (可能な場合) に準拠する必要があります。
最終混合物の品質は、製造後に各シリンダーのジボラン濃度と主要な不純物 (トレーサー)、つまり H 2 、N 2 、O 2を分析することによってチェックできます。
参照されるSEMI規格なし。
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