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SEMI C3.56 - ジボラン混合ガスの仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行。
ジボラン混合ガスの仕様と分析方法を定義し、その仕様の有効性を確認する。
ジボランは、純粋ガスとしては使われず、N 2 、H 2 、Ar 、He 、SiH 4等のバランスガスとの混合ガスとして使われる。
この混合ガスの性質は、下記の点を含むいくつかの制約の影響を受ける。
- 混合ガス作成に使用するガスの純度
- 構成ガスの充填精度
- シリンダー準備工程および内部内側表面とジボランのその場での化学反応。
また，ジボランが化学的に不安定なため分解すること（付属書１参照）から，充填後の経過時間が重要となる。
構成要素のガスはすべて、SEMI仕様があれば、その該当仕様に従わなくてもよい。
最終的な混合ガスの品質は、製造後の各シリンダー中のジボランの濃度と、主な不純物（トレーサー）、つまりH 2 、 N 2 、 O 2を分析してチェックすることが出来る。
参照されるSEMI規格なし。
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