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SEMI C3.55 - シラン (SiH4)、バルク、99.994% 品質の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2000 年 2 月。以前は 2011 年 10 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるシラン (SiH 4 ) の仕様を提供することです。
この文書では、半導体産業で使用されるバルク シラン (SiH 4 ) の要件について説明します。
参照されるSEMI規格SEMI C3 — ガスの仕様
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