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SEMI C3.54 - シラン (SiH4) のガス純度ガイドライン -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なガス技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年に出版されました。以前は 2006 年 9 月に出版されました。
注意:この文書は 2011 年に投票され、撤回が承認されました。
シランは、自然発火性の可燃性無色のガスです。
参照されるSEMI規格なし。
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