
SEMI C3.52 - 六フッ化タングステンの標準、99.996% の品質 -
Abstract
この規格は、世界的なガス技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2000 年 6 月に出版されました。
注意: この文書は 2011 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C70に置き換えられました。
WF 6の仕様と分析方法を定義し、仕様を検証します。
参照されるSEMI規格なし。
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C00352 - SEMI C3.52 - 六フッ化タングステンの標準、99.996% の品質
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