Japan Store
SEMI C3.51 - 三塩化ホウ素 (BCl3) の仕様、99.98% 品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2011 年 11 月に出版されました。
注意: この文書は 2012 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C71 に置き換えられました。
BCl 3の仕様と分析方法を定義し、仕様を検証します。
この仕様は、0.5 μ 以下 (0.35 ～ 0.5 の範囲) の形状に関するもので、気相分析を使用した分析技術について説明します。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件