SEMI C3.51 - 三塩化ホウ素（BCl3）、品質99.98%の仕様 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Gases Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月34日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年3月にwww.semiviews. orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。 2011年11月発行に続く。初版は1995年発行。

注意: この文書は 2012 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C71 に置き換えられました。

BCl ₃のための仕様と分析法を決めること，および仕様を確立すること。

本仕様は、0.5 μm またはそれ以下（0.35 ～0.5 μm範囲）に関係し、気相分析を用いた分析テクニックを考えます。

なし。

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