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SEMI C3.49 - バルク窒素 (N2) の規格、99.99999% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。 2003 年 3 月に www.semi.org で入手可能。初版は1994年に出版されました。
注意: この文書は 2003 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C59 に置き換えられました。
窒素は、地球の大気の約 78% を構成する無味無臭の二原子ガスです。無色の液体。不燃性。分別蒸留によって液体空気から得られる極低温ガス。
参照されるSEMI規格なし。
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