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SEMI C3.47 - 臭化水素（HBr）、品質99.98%の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2001年11月発行。
本書の目的は、半導体産業において使用される臭気化水素（ HBr ）の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格なし。
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