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SEMI C3.43 - 無水フッ化水素 (HF) の規格 (暫定) -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。 2001 年 7 月に www.semi.org で入手可能。初版は1990年に出版されました。
注意: この文書は 2001 年に投票され、撤回が承認されました。
フッ化水素は、鋭い刺激臭を持つ、非常に有毒で刺激性、腐食性のガスです。無色で不燃性ですが、ほとんどの有機物質と激しく反応します。
参照されるSEMI規格なし。
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