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SEMI C3.40 - 四フッ化炭素（CF4）、99.997%品質の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される四フッ化炭素(CF 4 )の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格なし。
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