C00337 - SEMI C3.37 - ヘキサフルオロエタン (C2F6) の仕様、99.97% 品質

SEMI C3.37 - ヘキサフルオロエタン (C2F6) の仕様、99.97% 品質 -

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Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.37-0920 - 現在

リビジョン

Abstract

この文書の目的は、半導体産業で使用されるヘキサフルオロエタン (C 2 F 6 ) の仕様を提供することです。

　

この文書では、半導体産業で使用されるヘキサフルオロエタンの要件について説明します。

　

参照されるSEMI規格

なし。

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