
SEMI C3.36 - 塩化水素 (HCl) の規格、品質 99.994% (暫定) -
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。 2001 年 7 月に www.semi.org で入手可能。初版は 1989 年に出版されました。以前は1994年に出版されました。
注意: この文書は 2001 年に投票され、撤回が承認されました。
塩化水素は、無色、刺激性、窒息臭のある腐食性ガスです。塩化水素は空気より重く、湿った空気中では強く発煙します。水およびアルコールに非常に溶けやすく、エーテルにも溶けます。塩化水素は、それ自体の蒸気圧下で貯蔵された液化圧縮ガスとして出荷されます。シリンダー内に液体が存在する限り、圧力はほぼ一定に保たれます。液相がなくなると、シリンダー圧力はかなり急速に低下します。
参照されるSEMI規格なし。
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C00336 - SEMI C3.36 - 塩化水素 (HCl) の規格、品質 99.994% (暫定)
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