SEMI C3.35 - 塩化水素 (HCI) の仕様、99.997% の品質 -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Gases
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.35-0421 - 現在

リビジョン

Abstract

この文書の目的は仕様を提供することです 半導体産業で使用される塩化水素 (HCl) の場合。


この文書では、塩化水素の要件について説明します。 半導体産業で使用されています。

参照SEMI規格(別途購入)

なし。

改訂履歴

SEMI C3.35-0421 (技術改訂)

SEMI C3.35-1109E (再承認 0815)

SEMI C3.35-1109E (編集改訂版)

SEMI C3.35-1109 (技術改訂)

SEMI C3.35-1101 (技術改訂)

SEMI C3.35-95 (技術改訂)

SEMI C3.35-94 (技術改訂)

SEMI C3.35-92 (技術改訂)

SEMI C3.35-89 (技術改訂)

SEMI C3.35-88 (初公開)

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