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SEMI C3.35 - 塩化水素（HCl）、品質99.997%の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年9月4日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2009年11月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は1988 年月発行、前版は2001 年11 月に発行されました。
本標準は、2010年5月、誤りを訂正するため編集上の修正が行われました。 ¶ 7.4.4.4 に継続式3 が追加されました。
本書の目的は、半導体産業で使用される塩化水素（ HCl ）の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格
なし。
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