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SEMI C3.34 - シリンダー内のジシラン (Si2H6) の仕様、97% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格の目的は、半導体産業で使用されるジシラン (Si2H6) の仕様を提供することです。
この規格は、半導体産業で使用されるジシラン (Si2H6) の要件をカバーしています。
分析方法が完全でない場合は、要件がガイドラインとして示されます。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C3 — ガスの仕様
改訂履歴
SEMI C3.34-0116 (再承認 0922)
SEMI C3.34-0116 (技術改訂)
SEMI C3.34-1109 (技術改訂)
SEMI C3.34-1102 (技術改訂)
SEMI C3.34-92 (技術改訂)
SEMI C3.34-90 (技術改訂)
SEMI C3.34-89 (初公開)
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