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SEMI C3.33 - 三塩化ホウ素 (BCl3) の規格 (暫定) -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なガス技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1987 年に出版されました。以前は 2003 年 3 月に出版されました。
注意: この文書は 2011 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C71、三塩化ホウ素 (BCI 3 ) の仕様およびガイドに置き換えられました。
三塩化ホウ素は、室温および大気圧で無色の気体で、湿った空気の存在下で発煙します。むせるような臭いがする。
参照されるSEMI規格なし。
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