SEMI C3.31 - シリンダー内のジクロロシラン (SiH2Cl2) の仕様、99% 品質 (暫定) -

Abstract

注意: この文書は 2005 年に SEMI C56 に置き換えられました。

この仕様は世界ガス委員会によって技術的に承認されており、北米ガス委員会が直接責任を負います。最新版は、2002 年 8 月 29 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2002 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 2002 年 11 月に出版予定。初版は 1986 年。以前は1994年に出版されました。

この文書の目的は、半導体産業で使用されるジクロロシラン (SiH2Cl2) の仕様を提供することです。この文書では、半導体産業で使用されるジクロロシラン (SiH2Cl2) の要件について説明します。分析方法が完全でない場合は、要件がガイドラインとして示されます。この規格は、その使用に関連する安全上の問題があったとしても、それに対処することを目的としたものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、これらの規格のユーザーの責任です。ジクロロシランは、可燃性、腐食性、無色の液体であり、湿気の存在下で加水分解します。容易かつ急速に酸化して塩化水素を放出します。空気の存在下で容易に発火します。

SEMI C1 — 試薬の仕様
SEMI C3 — ガスの仕様

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