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SEMI C3.30 - 水素 (H2)、バルク、99.9997% 品質の規格 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は 2005 年に SEMI C58 に置き換えられました。
この規格は、バルク、品質 99.9997% の水素 (H2) の定義、一般手順、仕様、および分析手順を確立することを目的としています。提供された分析手順と異なる分析手順が供給者またはユーザーによって代替された場合、同等性を確認するための立証責任は当該供給者またはユーザーにあります。指定された分析方法を決定する際には、次の基準リストが考慮されたことに注意してください。使いやすさ;メンテナンス;精度;正確さ;感度;多用途性。および機器の可用性。この規格は、半導体および高度な電子デバイスおよび回路の製造および処理で使用されるガスに使用されることを目的とした一般仕様 SEMI C3 に該当します。
参照されるSEMI規格なし。
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