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SEMI C3.28 - 窒素 (N2) の規格、シリンダー内の VLSI グレード、99.9996% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、1999 年 10 月 17 日に世界的な監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2000 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1985 年に出版されました。以前は1996年に出版されました。
注意: この文書は 2003 年に投票され、撤回が承認されました。 SEMI C59 に置き換えられました。
窒素は、地球の大気の約 78% を構成する無味無臭の二原子ガスです。無色の液体。化学的には反応しません。不燃性。窒息ガス;極低温。液体空気から分別蒸留によって得られます。
参照されるSEMI規格なし。
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