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SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3）、シリンダー充填、99.0%品質の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1984年発行。前版は2002年11月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本書の目的は、半導体産業で使用されるジシラン(Si2H6)の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 試薬の仕様
SEMI C3 — ガスの仕様
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