C00326 - SEMI C3.26 - シリンダー内の六フッ化タングステン (WF6) の仕様、99.8% の品質

SEMI C3.26 - シリンダー内の六フッ化タングステン (WF6) の仕様、99.8% の品質 -

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Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.26-0301 (撤回 0312) - 置き換え

リビジョン

Abstract


注意: この文書は投票され、承認されました。 2011年に撤退。SEMI C70に置き換えられました。


六フッ化タングステンは無色の気体または無色です 液体。独自の蒸気圧のもとで液化ガスとして出荷されます。

参照SEMI規格（別途購入）

なし。

改訂履歴

SEMI C3.26-0301 (0312 廃止、SEMI C70 に置き換え)

SEMI C3.26-0301 (技術改訂)

SEMI C3.26-94 (技術改訂)

SEMI C3.26-93 (技術改訂)

SEMI C3.26-89 (技術改訂)

SEMI C3.26-84 (初公開)

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