C00324 - SEMI C3.24 - シリンダー内の六フッ化硫黄 (SF6) の仕様、99.97% の品質

SEMI C3.24 - シリンダー内の六フッ化硫黄 (SF6) の仕様、99.97% の品質 -

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Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.24-0414 (再承認 0319)E - 現在

リビジョン

Abstract

この文書の目的は、半導体産業で使用される六フッ化硫黄 (SF 6 ) の仕様を提供することです。

　

この文書では、半導体産業で使用される六フッ化硫黄の要件について説明します。

　

参照されるSEMI規格

SEMI C3 — ガスの仕様

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