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SEMI C3.22 - 酸素 (O2) の規格、99.5% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2004 年 7 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2004 年 11 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1983 年に出版されました。以前は1993年に出版されました。
注意: この文書は 2004 年に投票され、撤回が承認されました。
酸素は無色無臭の酸化性気体です。燃焼をサポートします。
参照されるSEMI規格なし。
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