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SEMI C3.18 - シリンダー内のジクロロシラン (SiH2Cl2) の仕様、97% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は 2005 年に SEMI C56 に置き換えられました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるジクロロシラン (SiH2Cl2) の仕様を提供することです。この文書では、半導体産業で使用されるジクロロシラン (SiH2Cl2) の要件について説明します。分析方法が完全でない場合は、要件がガイドラインとして示されます。
参照されるSEMI規格なし。
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