C00312 - SEMI C3.12 - シリンダー内のアンモニア (NH3) の仕様、99.998% の品質

SEMI C3.12 - シリンダー内のアンモニア (NH3) の仕様、99.998% の品質 -

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Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.12-0116 (再承認 0922) - 現在

リビジョン

Abstract


この規格の目的は、半導体産業で使用されるアンモニア (NH3) の仕様を提供することです。

この規格は、半導体産業で使用されるアンモニアの要件をカバーしています。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C3 — ガスの仕様

改訂履歴
SEMI C3.12-0116 (再承認 0922)
SEMI C3.12-0116 (技術改訂)
SEMI C3.12-1109 (技術改訂)
SEMI C3.12-1102 (技術改訂)
SEMI C3.12-94 (技術改訂)
SEMI C3.12-89 (技術改訂)
SEMI C3.12-86 (技術改訂)
SEMI C3.12-83 (初公開)

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