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SEMI C2 - エッチング液の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学物質委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1995 年に発行されました。
注意: この文書は 2008 年に投票され、撤回が承認されました。
SEMI 化学試薬委員会は 1979 年にエッチング液に関する取り組みを開始しました。この出版物により、委員会は 3 つの主要なタイプのエッチング液混合物の定義を確立しました。混合酸エッチング液、緩衝酸化物エッチング液、およびリン酸エッチング液。タイプごとに仕様と分析手順を紹介します。
すべての要件を満たすエッチング剤は、「SEMI 仕様を満たす」と表現できます。
提供された分析手順と異なる分析手順が供給者またはユーザーによって代替された場合、同等性を確認するための立証責任は当該供給者またはユーザーにあります。
参照されるSEMI規格なし。
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