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SEMI C1 - 液体化学物質の分析ガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
液体化学薬品は、半導体デバイスの製造中に広範囲に使用されます。その純度は、製造プロセス中のデバイスの歩留まりに影響を与えることがわかっています。
幅広い半導体デバイスが製造されているため、各液体化学物質の規格およびガイドラインとしてさまざまな純度レベルが確立されています。
このガイドでは、特定の液体化学仕様を満たすために必要な標準検証手順のためのさまざまな分析手順について説明します。
すべての液体化学標準は、ガイドライン、仕様、および検証された分析手順で構成されています。適切な分析手順は、その感度が液体化学品のそれぞれのグレードの要件を満たすように、液体化学品の各グレードの各規格で定義されています。
このガイドでは、液体化学物質の認証に使用される各方法の概要を説明します。このガイドに記載されている適切な手順を使用して分析的に検証された液体化学薬品の各グレード (1 ～ 5) は、「SEMI 仕様を満たす」と表現できます。
分析手順— 液体化学仕様を確立するために使用される手順は、§ 7 に記載されています。分析手順は表 1 にリストされています。
安全性— 安全上の注意事項は進化し続けているため、この出版物では個々の液体化学物質の安全な取り扱いに関する明確な記述を提供することは不可能です。ユーザーには、製品ラベル、製品データシート、政府規制、およびその他の関連文献が参照されます。
参照されるSEMI規格なし。
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