Japan Store
SEMI C1 - 液体化学薬品の分析のためのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドは、global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されています。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で2009年12月16日に発行が承認されました。 入手可能となる。初版は1978年発行、前版は2005年7月発行。
液体化学薬品は半導体デバイスを製造する際に広く使用されており、液体化学薬品の純度は製造過程においてデバイスの歩留まりに影響するものとして示される。
幅広い種類の半導体デバイスが製造されるために、異なるレベルの純度がそれぞれの液体化学薬品の標準やガイドラインとして規定されている。
このガイドでは、特定の液体化学薬品に適合するために要求される標準化された検証過程のため、様々な分析過程について説明されている。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件