SEMI AUX005 - SEMI S2-93A と S2-0200 の比較表 -

Abstract

この文書をいかなる基準にも依存しない補助情報として出版することは、2000 年 10 月 19 日の北米環境衛生安全委員会の会議で 3 分の 2 の多数決によって承認されました。この措置はその後、世界各国の委員会によって承認されました。 EHS 調整小委員会は 2000 年 10 月 27 日に電子投票で、NA 地域標準委員会は 2000 年 11 月 22 日に電子投票で行いました。

このドキュメントの情報は、情報提供のみを目的として SEMI ® Standards および SEMI S2 Comparison Matrix Task Force から提供されたものであり、予告なく変更される場合があります。 SEMI S2-93A と SEMI S2-0200 の比較マトリックスは、機器サプライヤー、サードパーティ、およびデバイスメーカーにとって貴重なツールです。 S2-93A と SEMI S2-0200 の間の変更点を特定し、一部の変更の背後にある理論的根拠に関する洞察を読者に提供します。 SEMI S2 比較マトリックス タスクフォースの目的は、SEMI S2-93A および SEMI S2-0200 の公式セクションの完全な比較マトリックスを編集し、可能な限りさまざまな S2 ワーキング グループからの意見を求めることです。この文書は背景情報としてのみ使用することを目的としています。 SEMI S2 の基準を変更することは、この文書の目的ではありません。

なし。

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