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SEMI 3D11 - ガラス幾何計測におけるスルー ガラス ビアおよびブラインド ビアの用語 -
Volume(s):
3D-IC
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この文書の目的は、明確な情報を提供することです。 スルー グラス ビア (TGV) の一般的に受け入れられている定義と、 計測問題の理解と議論のための一貫した用語 大切な彼ら。
範囲
この文書は測定量と ガラスのスルービアとブラインドビアの幾何学的特徴。
このドキュメントの焦点はジオメトリ関連です。 製造の定義と管理に重要な計測と測定量 TGVの開口部を含む構造物の検査作業。
この文書はガラス貫通ビアおよび ガラスのブラインドビア。
この文書は、すべてのユーザーに適用できます。 ブラインドビアは、ガラス製の平坦な表面などに発生します。 ウエハースまたはシート。
この文書は構造を採用し、適応させます。 SEMI 3D1、シリコン貫通ビアの用語の文言 計測学。
SEMI 3D1 — シリコン貫通ビア幾何学的計測の用語
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